Rigaku凭借3D闪存缺陷检测与测量新方法荣获Diana Nyyssonen纪念最佳论文奖
Rigaku Holdings Corporation(总部:东京昭岛;首席执行官:Jun Kawakami;以下简称“Rigaku”)旗下集团公司Rigaku Corporation凭借一种用于检测3D闪存缺陷的突破性无损检测方法,荣获Diana Nyyssonen纪念最佳论文奖(以下简称“该奖项”)。这项检测与测量技术(以下简称“该技术”)运用了超高分辨率X射线显微镜。
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该奖项旨在表彰在国际光学工程学会(SPIE)先进光刻与图案化会议中,于测量、检测和过程控制领域发表最具影响力论文的团队。这些会议会发布应用于半导体制造的光刻技术的最新研究成果。
在3D闪存生产过程中,一个难题是对嵌入式金属结构以及被称为“存储孔”的极深孔的形状进行检测和测量。
Rigaku团队研发的这项技术利用X射线实现了超高分辨率,其检测极限是最先进光学显微镜的十分之一甚至更低。除了能够揭示纳米级的极细微结构,该技术还能对硅基片上形成的器件进行无损观测。正是这种解决方案的突破性,说服了会议主办方授予该奖项。
论文作者之一、X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote表示:“通过引入搭载这项技术的设备,3D闪存生产现场有望提高成品率并优化生产流程。Rigaku计划在大约两年内将这项技术投入实际应用。”
展望未来,Rigaku旨在利用这项技术追求更多创新成果,比如将其应用于多层器件连接部分的电导率检测和测量。
奖项公告详情
论文标题:利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存中的金属结构进行无损检测
网址:https://rigaku-holdings.com/pdf/Proc. of SPIE Vol. 12955 129551B.pdf
关于Rigaku Group
自1951年成立以来,Rigaku集团的专业工程技术人员一直致力于利用尖端技术造福社会,尤其是在X射线和热分析等核心领域。Rigaku的市场遍及90多个国家,在全球九个分支机构拥有约2000名员工,是工业界和研究分析机构的解决方案合作伙伴。我们的海外销售比例已达到约70%,同时在日本保持着极高的市场份额。我们与客户一起不断发展壮大。随着应用领域从半导体、电子材料、电池、环境、资源、能源、生命科学扩展到其他高科技领域,Rigaku实现了“通过推动新视角来改善我们的世界”的创新。
详情请访问rigaku-holdings.com/english
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Sawa Himeno
Rigaku Holdings Corporation传播部主管
prad@rigaku.co.jp
+81 90 6331 9843
左起:获奖人X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote;以及X射线实验室先进分析技术研究部成像组的Raita Hirose(照片:美国商业资讯)
奖状(照片:美国商业资讯)
使用该技术检测和测量的硅片中200纳米级孔图案(图示:美国商业资讯)
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