高纯气体输送设备是集成电路、平板显示、发光二极管以及光伏、光纤等泛半导体行业中关键的厂务设备之一。上海聚鼎在高纯气体供应系统领域深耕多年，在泛半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入等关键制程为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案，公司产品在国家重点科研实验室、石油化工等重大项目也有广泛应用。

　　全自动气瓶柜

　　设备特点与功能介绍

　　1.气柜有带机械锁的自关闭的柜门。

　　2.气柜里要安装喷淋头，除非气柜里的水会与气柜内的气体发生反应。

　　3.故障和关断报警通过声光报警以及控制器屏幕的显示来警示操作者。除此以外，关断报警关闭了气动阀，并且终止了控制器程序。

　　4.安装过流开关，可在气体下游气体流量过大时报警。

　　5.安装排气监控器可监视柜体是否有足够的通风。

　　6.选用膜片联结式减压阀，可在气体下游压力高于减压阀设定压力时自动关闭减压阀，因为减压阀的膜片与阀杆是机械连接的。注意，减压阀阀座如果被损坏，腐蚀或污染，则可能会发生泄漏。

　　7.安装在气瓶阀或钢瓶接头内的限流孔接头，可以大大地减少了当下游设备故障时引起的气体流量增大(气体供应商提供)。

　　8.对于自燃的气体系统，需要安装紫外线/红外线探测器。

　　9.对于可燃气体系统，需要安装温度开关。

　　10.当发生关断报警时，手动操作被禁止。

　　11.急停按钮位于控制器面板上。

　　密码安全系统可以防止未被授权的人员操作或者修改气柜控制菜单。

　　设备在使用及安全性方面还有以下特点

　　1.操作简单：以触摸屏来显示系统和进行设定，舍弃复杂的传统式按钮开关，减少盘面的空间，增加控制的多元化，在程序的设计中将常使用的操作模式，做成自动形式，操作者只要按下操作按钮，程序即自动执行所需之操作，十分方便简单；

　　2.控制软件兼容性高：通过不同之设定，可适用于不同之气体，以达到更佳的效果；

　　3.系统稳定：以PLC为控制主体，动作确实，故障率低，稳定性高；

　　4.安全性良好：本气瓶柜安全措施区分硬件及软件。在硬件上有各式的感测组件；软件方面接收各感测组件以及压力传输器之讯号，输入至CPU中，PLC可对讯号作处理比较，并可依照设定点，停止系统供应或输出警报灯信息；

　　5.警报记录功能全：所有的警报信息都有详细记录，包含报警时间、结束时间、确认时间、信息摘要等，使用者可以清楚查询所有的操作或警报记录；

　　6.讯号输出方面：网络或接线输出，两种方式进行信号输出；

　　网络信号输出：气瓶柜控制系统可将所有的状态，包含操作状况警报信息、供气时之压力值等，均可以网络或硬件上传到中控；

　　接线输出：气瓶柜控制系统可将主要的状态信号输送到接线端子，客户可以通过电缆联接到另外的系统中；

　　7.在其它方面的支持：全自动气瓶柜控制系统可利用网络的方式，作远程的操作及控制；

　　因此，在要求安全与效率的前提下，全自动气瓶柜系统能提供各种所需之功能，以满足相关行业工艺上的需求，发挥最大的效益。

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